电子气体是特种气体(指应用于特殊领域，对气体有特殊要求的纯气)的一个重要分支，半导体工业用的气体统称电子气体。一、电子气体的分类电子气体按纯度可分为：纯电子气体、高纯电子气体和半导体特殊材料气体；按规模等级和适用场合分为：电子级、LSI(大...

高纯气体(HighPurityGases)气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。对于不同类别的气体，纯度指标不同，例如对于氢，氮，氦，氩而言，通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气，纯度为99....

特种气体(Specialtygases)门类繁多，通常可区分为电子气体，标准气，环保气，医用气，焊接气，杀菌气等，广泛用于电子，电力，石油化工，采矿，钢铁，有色金属冶炼，热力工程，生化，环境监测，医学研究及诊断，食品保鲜等领域。一般特种气体...

硅烷化钝化管线采用的化学蒸汽沉淀法是一种全新的涂覆技术。在特制的炉中放置所需处理的部件，导入专有技术的气体。主要特点是这种气体可以渗透到曲折的管道内部并提供很薄的均匀涂覆，即使复杂的形状完成均匀的涂覆。硅烷化钝化管线硅表面钝化技术：采用的化...

在集成电路、平面显示器件和太阳能等电子工业生产环节中，从芯片生产到最后器件的封装，几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体，因此电子气体堪称电子制造的“血液”。电子气体成本仅占IC材料总成本的5%-6%，但是即使只是某一种特定杂质超标，都可能...

MFC流量控制器，即MassFlowMeter（缩写为MFM）,是一种精确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿。质量流量控制器,即MassFlowController（缩写为MFC）,不但具有质量流量计...