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傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控,气体纯度和组成分析,环境有毒有害气体监视和工业尾气监视。
MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪由保护的2102傅利叶变换红外制成分光计,高光通量取样单元,专业分析软件及独立的定量光谱库组成。MultiGas 6030收集高分辨率的红外光谱与定量光谱库分析,提供绝大多数气体及水蒸气的高精度,高灵敏度测量。