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电子级二氧化碳在半导体制造过程中的作用

更新时间:2024-03-24      点击次数:390
  电子级二氧化碳是一种高纯度的二氧化碳气体,主要用于电子工业的清洁和冷却过程。这种级别的二氧化碳具有极低的杂质含量,以满足半导体、光纤、电子设备制造等对纯净环境要求高的行业需求。制备过程涉及精密的纯化技术,以确保去除所有潜在的污染物。这些污染物可能包括水分、有机物、颗粒物、其他气体杂质以及细菌和病毒等。纯化过程通常包括多个步骤,如预净化、蒸馏、吸附、膜分离和最终的精密过滤。
 

 

  在半导体制造过程中,电子级二氧化碳用于光刻机的光源冷却,以维持光源的稳定性和精度。此外,它还用于清洗设备中的粒子和残留化学物质,确保硅片和其他电子元件的洁净。由于在这些过程中即使是微量的杂质也可能导致产品缺陷,因此使用高纯度的二氧化碳是至关重要的。
  其标准通常由国际半导体设备和材料国际组织(SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational,SEMI)定义。例如,SEMIC12-1104标准规定了用于半导体制造中二氧化碳的纯度要求,包括允许的最大杂质水平。
  储存和运输需要特殊的设施和容器,以防止污染和确保安全。通常使用经过特殊处理的高压气瓶或储罐来保存这种气体,并且在整个供应链中都需要遵循严格的质量控制程序。
  电子级二氧化碳是电子工业中的一种关键材料,它的高纯度和低杂质含量对于保障精密设备的正常运行和产品质量至关重要。随着对更高纯度气体需求的增加,相关的纯化技术和供应链管理也在不断地优化和提升。
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