激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜（面）和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。
气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光。
激光混合气用途：
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCL平衡气氦-氖激光混合气：
1.2.0-8.3He用于工业生产、科学研究和国防建设等领域二氧化碳激光混合气
2.0.413.513.08.06.016.08-124.57.08.08.016.06-82.04.04HeHeHeHeHeHe主要用于激光加工、如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上用的激光外科等氪-氟激光混合气
3.5101-1.2HeHe用于保护膜暴光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光密封束激光混合气。
4.18.532.5H2作研究用的密封激光器准分子激光混合气
5.25.89.80.004150.25ArHeHeAr准分子激光器用于医疗上的外科手术
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