激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。
激光混合气的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能，特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损，还会引起激光发射的不稳定。因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光气是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光，可称为第三代激光。
激光混合气的组成与精度的影响。混合气中组分浓度的变化对于振荡效率和激光器使用寿命影响极大.激光混合气采用99.999%、二氧化碳和99.999%氢气、氮气和氦气等高纯气体，按激光发生器的的比例要求配制而成的预混合气体。具有重复性好、均匀性好、一致性好等特点。激光混合气的组成与精度的影响。对于二氧化碳激光器，若混合气氮组分气浓度发生变化，受电子冲撞则引起氨分子激励状态发生变化，结果会造成二氧化碳气体分子的激励效率等发生变化。
一切以气体或蒸汽作为激光工作物质的激，统称为气体激。这是目前种类多、发展快应用广的一类激光器。激光混合气中所用气体的种类作用:普氧:作为切割碳钢的气体(助燃性)纯度99.5%纯氮:作为切割不锈钢的气体(冷却性)纯度999%(切割碳钢速度为3/4)激光混合气的组成与精度的影响。气体激光器的种类繁多，激光混合气的品种、规格也较多。对于激光混合气的组成与精度都有严格的要求。
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