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影响电子气体纯度及品质的主要因素都有哪些

发布时间:2021-09-13      点击次数:53

    在集成电路、平面显示器件和太阳能等电子工业生产环节中,从芯片生产到最后器件的封装,几乎每一步、每一个环节都离不开电子气体,因此电子气体堪称电子制造的“血液”。电子气体成本仅占IC材料总成本的5%-6%,但是即使只是某一种特定杂质超标,都可能导致产品严重缺陷,甚至因为不合格气体的扩散,导致整个生产线被污染或报废。因此,电子气体的品质很大程度上决定了半导体器件性能的好坏,电子气体纯度每提高一个数量级,都会极大地推动半导体器件质的飞跃。

    影响电子气体纯度及品质的主要因素包括:气体的生产和充装、气体混配和杂质监控,以及气体的运输和储存三方面。

    气体的生产和充装

    电子气体生产的瓶颈很多,从原材料纯度开始,到合成工艺、对温度和压力的控制,再到提纯方法和分析方法,以及产品充装过程中对杂质的控制,每个环节都会影响整个产品的质量。

    目前,受制于国内生产技术的限制,大量5N/6N的高纯气体、稀有气体及混合气体需要依赖于进口,一定程度上增加了运输成本、供货周期及产品污染的风险。空气产品公司的无锡电子级高纯气体工厂,大部分原料均来自于公司自有的空分设备,品质更可控。

    气体混配和杂质监控

    对于混合气而言,配比的精度是核心参数,随着产品组分的增加、配制精度的上升,客户常要求气体供应商能够对多种PPM乃至PPB级浓度的气体组分进行精细操作,其配制过程的难度与复杂程度也显著增大。此外,对气体分析检测和杂质监控也提出了更高的技术要求。

    气体的运输和储存

    电子气体在储存和运输过程中要求使用高质量的气体包装储运容器、以及相应的气体输送管线、阀门和接口,确保避免二次污染。
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