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看完这篇文章你就知道特种气体都有哪些分类了

发布时间:2021-08-03      点击次数:397

    特种气体是指在特定领域中应用的对纯度、品种、性质有特殊要求的气体,随着国防工业、科学研究、自动化技术、精密检测(特别是微电子技术)的发展,特种气体成为工业气体市场规模增长新动力,广泛应用于半导体、LED、光纤光缆、医药等新兴行业。

    特种气体的分类方式很多种,例如按照气体本身化学成分可分为:硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的作用可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相沉积(CVD)用气体、载运稀释气体七类。同时,以上分类存在交叉,例如四氯化硅(SiCl4)既属于硅系气体,又属于外延气体,同时在化学气相沉积(CVD)中也存在应用。

    特种气体主要包括电子气体、医疗气体、标准气体、激光气体、食品气体、电光源气体等,其中,电子气体广泛用于集成电路、显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过程,主要包括清洗、蚀刻、光刻、外延、掺杂等,是下行业关键性化工基础材料,被誉为电子产业的“粮食”和“源”,现有单元特种气体260余种,可配制成25000多种混合气体。

    特种气体的主要生产工序包括气体合成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体分析检测。可以根据客户的不同需求和产品的不同特性,采取不同的工序进行组合。

    电子特种气体是仅次于硅片和硅基材料的第二大市场需求半导体材料,电子气体2016年的国内市场需求为48.02亿,占比14%。电子特种气体中产品被国外垄断,该领域主要生产厂家有美国气体化工、美国普莱克斯、日本昭和电工、德国林德集团、法国液化空气、日本酸素,合计市场占有率达85%。据全球半导体协会统计,目前常用的电子气体纯气有60多种,混合气80多种。
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