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甲硅烷

简要描述:甲硅烷用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-01-21
  • 访  问  量:135

详细介绍

硅烷 (SiH4)

 

项目名称

纯度指标(%)

甲硅烷

≥99.99

杂质含量(ppm)

 

氩气(Ar)

≤0.05

氯硅烷(Chlorosilane))

≤0.15

乙硅烷(Si2H6))

≤0.5

氦气(He)

≤1

一氧化碳(CO)

≤0.05

氧气(O2)

≤0.05

氮气(N2)

≤1

氢气(H2)

≤20

二氧化碳(CO2)

≤0.05

甲烷(CH4)

≤0.05

碳(C)

≤0.2

二氯二氢硅(SiH2Cl2)

≤0.5

甲基硅烷(CH3Si)

≤0.5

金属离子(Metals)

≤0.03

 

甲硅烷包装:采用44L、47L钢瓶充装,也可根据客户需要,分装到8L的气瓶中。

 

用途:硅的外延生长、多晶硅、氧化硅、氮化硅等的原料,太阳能电池,光导纤维,有色玻璃制造,化学气相淀积。

 

理化性质: 硅烷在常温常压下为具有恶臭的无色气体。在温室下着火,在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。即使用其他气体稀释,如果浓度不够低,仍能自燃。硅烷在氩气中含2%,氮气中含2.5%,氢气中含1%,它仍能着火。硅烷浓度在小于1%时不燃,大于3%时自燃,1%~3%时可能燃烧。

 

注意事项:使用硅烷的工作场所要通风,保持室内空气干燥。硅烷装置要严格密封,避免和空气、水分相接触,为此,用气装置在使用前要用惰性气体置换里面的空气后抽真空,这样反复进行置换和抽真空,一定要彻底清除系统中的空气和水分。装置使用以后,也要用惰性气体置换清洗系统中的硅烷。可以用氦探漏器探漏。少量硅烷泄漏时,从氧化硅粉末的折出中也可以得知。钢瓶要存放在阴凉干燥通风良好之处,要远离热源和氯、溴等氧化剂。工作场所要配备足够的防护用品及应急用品。硅烷无腐蚀性,可以使用碳钢、不锈钢、铜、黄铜、蒙乃尔、耐蚀镍基合金。也可用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合体、尼龙、三氟氯乙烯树脂、聚乙烯、聚酯、石英玻璃。不能用铅、橡胶、脂肪、润滑油、玻璃。凡是可燃性的有机高分子材料应该避免使用。当硅烷大量泄漏时。紧接着就要着火,所以无法用灭火器灭火。但是可以控制火势,使火灾不向周围蔓延。燃烧时辐射热不太高,所以应尽可能去关闭阀门以止住气体的流出。可用白雪石粉或石墨粉熄火。废气可用水或碱吸收,或者在特殊燃烧器中燃烧成SiO2之后用专门的过滤器捕捉。储存于阴凉、通风的库房。远离火种、热源。库温不宜超过30。应与易(可)燃物、氧化剂分开存放,切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。密闭操作,局部排风。操作人员必须经过专培训,严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴过滤式防毒面具(半面罩)。远离易燃、可燃物。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂接触。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。

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